Le différence clé entre la micro-analyse et la semi-micro-analyse est que la micro-analyse est utilisée pour analyser un matériau ayant une masse inférieure à 10 mg, tandis que la semi-micro-analyse est utilisée pour analyser un matériau ayant une masse d'environ 100-500 mg.
Les analyses micro et semi-micro sont deux types d'analyses qualitatives, c'est-à-dire l'analyse des matériaux en fonction de leurs propriétés plutôt que de leurs quantités. La micro-analyse fait référence à l'analyse d'un matériau ayant des tailles de particules à l'échelle micro. Différentes méthodes peuvent être utilisées pour la micro-analyse. La semi-micro analyse, en revanche, est une méthode développée de micro-analyse.